二、主要點：
·除保證高精度外，還實現(xiàn)了靜壓、溫度等環(huán)境影響小的高性能。
·可長期連續(xù)使用的高可靠性。
·小型、輕量，使其不受安裝場所的限制，可自由安裝。
·采用微型計算機(jī)技術(shù)，具有完整的自診斷功能和通訊功能。
·開發(fā)時重視零點的穩(wěn)定性，提高了維護(hù)效率。
·連續(xù)五年不需調(diào)校零點。
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| 三、*的工作原理 |
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圖1 硅諧振梁的結(jié)構(gòu)
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圖2 諧振式傳感器頻率輸出
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| 單法蘭差壓變送器 采用微電子加工技術(shù)（MEMS）在一個單晶硅芯片表面的中心和邊緣制作 兩個形狀、尺寸、材質(zhì)**的H形狀的諧振梁，諧振梁在自激振蕩回路中作高頻振蕩（如圖1）。 單晶硅片的上下表面受到的壓力不等時，將產(chǎn)生形變，導(dǎo)致中心諧振梁 因壓縮力而頻率減小，邊緣諧振因受拉伸力而頻率增加（如圖2）。
兩頻率之差信號直接送到CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，然后 （1）經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換成4-20mA輸出信號，通訊時疊加Brain或Hart數(shù)字信號； （2）直接輸出符合現(xiàn)場總線（Fieldbus Foundation TM）標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字信號。 |
| 四、優(yōu)異的性能 |
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| 靜壓影響忽略不計
當(dāng)加有靜壓（工作壓力）時，兩形狀、尺寸、材質(zhì)**的諧振梁形變相同， 故頻率變化也*，故偏差自動清除（公式和圖類似溫度影響）。
單向過壓性優(yōu)異
接液膜片與膜盒本體采用*的波紋加工技術(shù)，使外部壓力增大到某一數(shù)值時， 接液膜片能與本體*接觸，硅油傳遞給傳感器的壓力不再隨外力的增加而增 加，從而達(dá)到對傳感器的保護(hù)作用。（圖4）、（圖5）所示為ＥＪＡ過壓性。 |
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圖5 對于過壓的長期穩(wěn)定性 |
圖6 長期穩(wěn)定性 |
| 五、安裝靈活 使用方便 |
| 單法蘭差壓變送器安裝靈活
可無需支架，直接安裝（如圖7）；
常規(guī)使用，無需三閥組（如圖8）。 |
圖7 無需支架直接安裝 圖8 無需三閥組安裝 |
| 組態(tài)靈活簡便
可通過計算機(jī)或手操器對變送器組態(tài)，也可通過變送器上的量程設(shè)置按鈕和調(diào)零按鈕，進(jìn)行現(xiàn)場調(diào)整（如圖9）。
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